Influence of deposition parameters on the properties of sputtered Ge2Sb2Te5

Dieker, Henning; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 478
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 248-248

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]