Increase of the deposition rate in reactive sputtering of metal oxides usinga ceramic nitride target

Melville, NY / AIP (2009) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of applied physics
Band: 105
Ausgabe: 9
Seite(n): 093302

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Severin, Daniel
Kappertz, Oliver
Nyberg, T.
Berg, S.
Pflug, Andreas

Weitere Autorinnen und Autoren

Wuttig, Matthias

Identifikationsnummern