Tailoring of structure formation and phase composition in reactively sputtered zirconium oxide films using nitrogen as an additional reactive gas

Melville, NY / AIP (2008) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of applied physics
Band: 103
Ausgabe: 8
Seite(n): 083306

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Severin, Daniel
Sarakinos, Kostas
Kappertz, Oliver
Pflug, Andreas
Wuttig, Matthias